学者提出融合EfficientAD与DDPM的晶圆缺陷检测框架

Limon Bin Hossain 与 Md Sadib Rahman Ananta 提出一种混合单类框架，用于半导体晶圆图的开放集异常检测。该框架将基于 patch 的学生-教师检测器 EfficientAD 与用于部分扩散重建的去噪扩散概率模型（DDPM）结合，并通过固定凸组合融合二者经百分位校准的分数。 上述内容来自该研究的一手发布，未报告实际检测效果或与其他方法的对比结果。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。