arXiv cs.LG· Limon Bin Hossain, Md Sadib Rahman Ananta·2026-10-08 12:00· 6 小时前AI 评分19

基于 Patch 的 EfficientAD 与 DDPM 融合用于半导体晶圆图开集异常检测

Efficient Patch-Based Anomaly Detection Fused with Diffusion Driven Generative Modeling for Semiconductor Wafer Bin Map Open Set Anomaly Detection

AI 导读

一项混合单类框架将基于 patch 的学生-教师检测器 EfficientAD 与用于部分扩散重建的 DDPM 结合，通过固定凸组合融合二者经百分位校准的分数。

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